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400-888-0829
超声波除尘系统
应用范围
适用于电池涂布、半导体器件和玻璃基板的除尘。
设备优势
干式非接触除尘的方式，避免污染或损伤材料表面
超声波除尘头无需维护，只需维护风机及更换滤芯
相比传统非接触式风刀除尘，能去除6um以下尘粒
科学设计的封闭循环系统，不会污染洁净室
主要参数
腔体压力
4-5KPa
负压口压力
-4~-1KPa
工作距离
5mm以内，1.5mm最佳
使用环境
万级以下干燥无尘车间
功率
7.5KW/11.5KW
电源
380V，50/60HZ
处理风量
>600m³/h
过滤效率
99%，0.3um精度
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沪公网安备 31011202013830号