在半导体制程装备的精密气体控制系统中，有一颗看不见的“心脏”——压电陶瓷叠堆致动器，它是压电式MFC（Mass Flow Controller，气体质量流量控制器）的核心执行部件，直接决定气体流量控制的精度、响应速度与可靠性。

苏州攀特电陶科技股份有限公司（证券代码：831622.NQ）专注先进压电陶瓷材料及元器件的开发、生产与销售二十余年，在国内率先推出独石共烧一体的压电陶瓷叠层型致动器，打破海外品牌垄断，为半导体MFC装上“中国芯”。

2026年11月12日，攀特电陶出席艾邦第二届压电陶瓷产业论坛，重点展示半导体MFC用一体共烧压电陶瓷叠堆致动器。本次论坛是骄成超声推进攀特电陶产业整合阶段，“骄成攀特”新品牌的首次行业公开亮相。

对刻蚀（Etch）、薄膜沉积（CVD/ALD/PECVD）、扩散、清洗等半导体制造设备而言，MFC都是一种刚需零部件，用于精确测量和控制进入反应腔的工艺气体流量。而压电陶瓷叠堆致动器正是压电式MFC中价值量最高的核心器件，它通过逆压电效应产生微小形变，驱动阀芯动作，实现纳米级精密流量调节。

长期以来，MFC所用的高端压电陶瓷被海外厂商垄断，是国产MFC产业链上典型的“卡脖子”环节之一。

骄成攀特依托自主材料配方与独石一体共烧工艺，推出面向半导体MFC场景的压电陶瓷叠堆致动器，具有更好的叠堆刚度、位移一致性和高温蠕变表现。

骄成攀特具备从压电陶瓷粉料、流延成膜、电极印刷、叠层共烧到极化测试的全流程自主能力，面向所有MFC整机厂商开放供应：

·标准化产品：波纹管密封型等标准系列致动器，快速选型、批量供货；

·定制开发：根据MFC整机厂阀体结构、驱动电压、行程与频响需求，定制材料配方与器件结构；

·联合验证支持：配合客户完成寿命、温漂、气密等可靠性验证，缩短整机导入周期。

作为开放的压电陶瓷材料与器件供应商，骄成攀特的产品除半导体MFC外，还广泛服务第三方客户的精密驱动需求：

精密运动平台（重点方向）：压电纳米位移台、压电电机、压电旋转台、压电快反镜、压电变形镜等精密运动控制系统的核心执行元件；

先进汽车电子（重点方向）：Knock-Knock敲击感应开关、人车交互发声系统、微碰撞检测传感器等领域；

医疗器械健康（重点方向）：医疗手术刀超声换能器、医用雾化器、胎心监测仪、精密压电微泵、介入与诊疗设备用压电驱动部件；

精密光学与激光：自适应光学、可调谐激光器、光路调谐、光纤对准与传感；

超声检测与换能：高频超声换能器、超声波扫描显微镜探头、超声波流量计；

工业与精密设备：压电比例阀、压电贾卡梳、主动减振控制等驱动部件；

AI芯片散热：压电风扇、液冷压电微泵、冷却水涡街流量计等精密压电陶瓷。

骄成超声控股攀特电陶完成后，双方的协同将从材料和器件延伸到装备应用。攀特负责配方开发、器件设计和生产，骄成超声发挥在工业超声装备研发、应用工程及质量管理方面的经验，让设备端的工况和验证要求更早进入选型与设计。双方可围绕过程检测、批次一致性和质量追溯展开合作，帮助客户把样件阶段确认的指标落实到批量交付。

攀特将继续面向MFC整机厂、阀组件厂商和半导体装备企业开放供货与定制开发，同时为骄成超声的装备业务提供压电器件配套。装备端的应用反馈也可用于迭代材料配方和器件结构，支持面向新阀型及新工况的开发。

从一块陶瓷粉料，到一只毫秒级精准出力的压电叠堆，再到一片被精确控制的工艺气体、一次纳米级定位、一台守护健康的医疗设备——骄成攀特以开放的压电陶瓷材料平台，为半导体MFC、精密运动、医疗器械、汽车电子等领域提供可靠的“压电心脏”。

欢迎MFC整机厂、半导体装备商及各领域客户垂询、来样定制，我们提供从材料选型、结构设计到批量交付的全流程服务。